రెండూఖండితుడైన పంప్వాయువును ప్రాసెస్ చేయడానికి పరికరాలు, కానీ వాటి పని సూత్రాలు మరియు అప్లికేషన్ యొక్క పరిధి భిన్నంగా ఉంటాయి.
వాక్యూమ్ పంప్ యొక్క ప్రధాన పని ఏమిటంటే, ముందుగా నిర్ణయించిన వాక్యూమ్ డిగ్రీని సాధించడానికి కంటైనర్లోని ఒత్తిడిని తగ్గించడానికి ప్రతిచర్య గది నుండి వాయువును తొలగించడం. గ్యాస్ స్పేస్ నుండి చూషణ మరియు ఎగ్జాస్ట్ మెకానిజం ద్వారా సేకరించి వాక్యూమ్ స్థితిని ఏర్పరుస్తుంది. వాక్యూమ్ పంపులను సాధారణంగా ప్రయోగశాలలు, ఉత్పత్తి మరియు తయారీ రంగాలలో ఉపయోగిస్తారు. పొర ఫాబ్స్, ఎచింగ్ పరికరాలు, నిక్షేపణ పరికరాలు, EUV లితోగ్రఫీ పరికరాలు, అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ పరికరాలు, గుర్తింపు మరియు క్యారెక్టరైజేషన్ పరికరాలు మొదలైన వాటిలో. అన్నీ వాక్యూమ్ చేయాల్సిన అవసరం ఉంది.
కంప్రెసర్ యొక్క పనితీరు ఏమిటంటే వాయువును పీల్చుకోవడం మరియు దానిని కుదించడం, వాయువు యొక్క ఒత్తిడిని పెంచడం, వాయువును చిన్న పరిమాణంలో కుదించడం మరియు వాయువు యొక్క సాంద్రత మరియు ఒత్తిడిని పెంచడం. ఎగ్జాస్ట్ వాల్వ్ ద్వారా వాయువును కుదించడం దీని పని సూత్రం, ఆపై సంపీడన వాయువును గ్యాస్ ట్యాంక్ లేదా ఇతర పరికరాలలో ఉంచడం. కంప్రెషర్లను సాధారణంగా ప్రాసెసింగ్ మరియు తయారీ రంగాలలో ఉపయోగిస్తారు. మేము తరచుగా మాట్లాడే CDA గ్యాస్ కంప్రెసర్ ద్వారా అందించబడుతుంది. వివిధ ఆటోమేషన్ పరికరాలు మరియు కవాటాలను నియంత్రించడానికి CDA ఉపయోగించబడుతుంది. సెమీకండక్టర్ తయారీ కోసం, CDA చాలా స్వచ్ఛంగా మరియు పొడిగా ఉండాలి. కంప్రెసర్ ద్వారా గాలి ఉత్పత్తి చమురు, తేమ మరియు ఇతర కణాలను తొలగించడానికి అధునాతన వడపోత వ్యవస్థ గుండా వెళ్ళాలి, పొర యొక్క కాలుష్యం లేదని నిర్ధారించడానికి.
యొక్క వర్గాలు ఏమిటిఖండితుడైన పంప్?
సెమీకండక్టర్ పరికరాలలో, పొడి పంపులు మరియు పరమాణు పంపులను సాధారణంగా ఉపయోగిస్తారు. పొడి పంప్ వాక్యూమ్ పంప్ను సూచిస్తుంది, ఇది ఏ ద్రవాన్ని సీలింగ్ లేదా శీతలీకరణ మాధ్యమంగా ఉపయోగించదు, చమురు ఆవిరి కలుషిత సమస్యను నివారిస్తుంది. ఇది సాధారణంగా సెమీకండక్టర్ పరికరాల కఠినమైన వాక్యూమ్ వెలికితీత కోసం ఉపయోగించబడుతుంది. పరమాణు పంపులు చాలా ఎక్కువ వాక్యూమ్ స్థాయిలను సాధించగలవు. వివిధ వాక్యూమ్ స్థాయిల అవసరాలను తీర్చడానికి పొడి పంపులు మరియు పరమాణు పంపులను సెమీకండక్టర్ పరికరాలలో తరచుగా ఉపయోగిస్తారు.
కంప్రెషర్లను పిస్టన్, స్క్రూ, సెంట్రిఫ్యూగల్, రోటరీ వేన్ ఎయిర్ కంప్రెషర్స్ మొదలైనవిగా విభజించవచ్చు.
వాక్యూమ్ పంప్ మరియు కంప్రెసర్ యొక్క విభిన్న నమూనాలు మరియు పని సూత్రాల కారణంగా, వాక్యూమ్ పంపులు సాధారణంగా కంప్రెషర్లను భర్తీ చేయలేవు. వాక్యూమ్ పంపులు వాయువుల పీడనం మరియు సాంద్రతను తగ్గించగలిగినప్పటికీ, అవి వాయువులను చిన్న వాల్యూమ్లుగా మరియు అధిక ఒత్తిళ్లుగా కుదించలేవు. అదనంగా, వాక్యూమ్ పంపుల యొక్క పరిమిత పనితీరు మరియు పని లక్షణాల కారణంగా, తక్కువ-సాంద్రత గల వాయువులు మరియు తక్కువ-పీడన వాతావరణాలను నిర్వహించడానికి ఇవి బాగా సరిపోతాయి.
అందువల్ల, గ్యాస్ను చిన్న వాల్యూమ్ మరియు అధిక పీడనంలో కుదించాల్సిన అవసరం ఉంటే, కంప్రెసర్ ఉపయోగించాలి. దీనికి విరుద్ధంగా, వాయువును సేకరించాలి మరియు వాక్యూమ్ స్థితి ఏర్పడితే, వాక్యూమ్ పంప్ ఉపయోగించాలి.
రెండూ అయినప్పటికీఖండితుడైన పంప్వాయువును ప్రాసెస్ చేయడానికి ఉపయోగించే పరికరాలు, డిజైన్ మరియు వర్కింగ్ సూత్రప్రాయంగా గొప్ప తేడాలు ఉన్నాయి. వాక్యూమ్ పంప్ వాయువు యొక్క పీడనం మరియు సాంద్రతను తగ్గించగలిగినప్పటికీ, ఇది కంప్రెషర్ను భర్తీ చేయదు, ప్రత్యేకించి వాయువు చిన్న వాల్యూమ్ మరియు అధిక పీడనంలోకి కుదించాల్సిన అవసరం వచ్చినప్పుడు.
